臺下的牛志學一邊聽,一邊輕輕點頭。
雖然他對具體的化學反應方程式不甚瞭解,但他能聽懂普通五金廠就能焊接出來這句話背後的含金量。
材料組彙報完畢後,緊接著上臺的,便是吳啟明所在的光學鏡頭組,以及負責極紫外與深紫外光源激發的雷射物理組。
正如上午所確立的核心思路一樣,後面上臺的每一個專業組,在彙報方案時,全都圍繞著四個核心關鍵詞展開。
簡單化、模組化、小型化、便攜化!
光源組砍掉了原本重達數十噸,需要複雜高能雷射器轟擊錫液滴的極紫外光源系統。
退而求其次,設計了一套結構緊湊的準分子雷射深紫外光源模組,並利用特殊的諧波倍頻晶體陣列,強行將輸出波長壓縮到了能夠滿足高階晶片多重曝光的臨界值。
整套光源模組的體積,被他們縮小到了只有兩個家用雙門冰箱那麼大。
光學組則拿出了上午吳啟明提出的犧牲壽命換取精度的方案。
他們放棄了需要漫長週期的離子束拋光,改用計算機控制的磁流變液快速研磨法,配合化學氣相沉積形成的臨時高反射率薄膜。
這套光學鏡頭組的理論壽命雖然只有一萬個小時左右,但它的加工裝置門檻降低了整整三個數量級。
當時間來到下午四點鐘的時候,壓軸出場的機械工程與精密母機設計組代表。
那位年僅四十出頭的孫明院士,帶著一份讓全場學者都眼前一亮的總裝工程圖紙,走上了講臺。
“大祭司,各位前輩,前面各個組已經把光源、鏡頭、材料和控制晶片的簡化方案都解決了。”
“而我們機械工程組的任務,就是把這些被簡化後的核心模組,用最穩固,最精確的方式組裝在一起,並提供微米乃至奈米級的運動控制平臺。”
孫明站在講臺中央,伸手指向擺放在臺上的那臺被拆解開的海城三號光刻機實物:“大家都很清楚,臺上這臺標準版光刻機,零部件總數超過了十萬個。”
“光是把這些零件在無塵車間裡組裝起來,並進行的光路校準與機械調平,就需要一個五十人的頂尖工程師團隊,耗費整整四個月的時間!”
“在缺乏高階配套設施的簡陋條件下,我們顯然不可能擁有那麼高標準的超大型無塵車間,也不可能投入那麼多熟練的高階技工去進行長達幾個月的微調。”
“所以,考慮到這套裝置只需要維持一到三年的過渡期使用壽命,我們工程部門打破了傳統的散件組裝思維,創新性地採用了一套一體式模組化拼裝外殼設計!”
隨著孫明在終端上輕輕一點,講臺上方巨大的全息螢幕中,立刻浮現出了一臺造型方正,充滿了一種簡約工業美感的全新光刻機三維模型。
在演示動畫中,這臺機器的外部不再是複雜的管線與支架,而是變成了一個由特種鑄鐵與環氧樹脂花崗岩一體澆築而成的六面體蜂窩狀框架。
孫明拿著雷射筆,聲音振奮地講解道:“我們把原本需要現場組裝的十萬個零件,在圖紙設計階段,就直接整合成了十一個高度整合的獨立功能模組!”
“這個一體式的外殼框架,內部預設了具備自定位功能的錐形機械卡槽與標準化的水電,光纖盲插介面。”
“外殼在澆築完成後,只需要利用我們設計的前置簡易母機,對內部卡槽的幾個核心基準面進行一次性的刮研與雷射校準。”
“一旦外殼基準面校準完成,後續的總裝過程將發生質的改變!”
演示動畫裡,十一個代表著光源、物鏡、雙工件臺、機械臂的模組,就像是一塊塊嚴絲合縫的積木一樣,順著導軌直接滑入了外殼的卡槽之中,並自動鎖死。
“透過這種一體式模組化拼裝外殼,我們將原本需要五十人、耗時四個月的複雜總裝工程,徹底簡化!”
孫明轉過身,看著臺下屏息凝神的眾人,清晰地報出了最終的測算資料,“按照我們的這套設計,只要前置的十一個模組生產完畢,到了最終的總裝環節,完全不需要頂尖的光學工程師在場。”
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