首都機場跑道地燈在薄霧中泛著微黃冷光。
機翼下方。
兩臺大推力渦扇引擎發出沉悶的低頻咆哮。
灣流專機刺破北京破曉前的濃稠溼霧,機頭猛然揚起,穿透低空厚積的鉛灰色雲層,昂首扎入萬米巡航高度。
機艙舷窗外泛起一抹冷冽的魚肚白。
“雲層散了。”
唐國維低語一聲。
他在柚木摺疊桌上展平一張三開的重磅硫酸紙圖紙,指節在正中央兩座並排的金屬臺架上輕輕叩擊。
“紅旗,這就是AS和尼康壓制全球業界的雙工件臺結構。”
唐國維摘下金絲眼鏡,神色冷峻凝重。
“過去單工件臺,矽片被機械手送進機艙,得先找平、測焦、微米對準,整套流程下來少說也要十幾秒。”
“好不容易開始曝光,光源白白閒置。”
“阿斯麥把測距和曝光徹底拆開。”
唐國維指尖壓在另一側滑臺:“左邊這臺剛曝光完,右邊這臺早就在百級黃光區把晶圓掃描測算得清清楚楚。”
“換位!”
唐國維語氣發硬:“兩座臺子毫秒級交替對調,生產線吞吐量直接翻倍,每小時穩穩出產一百二十片。”
張紅旗端起骨瓷茶杯抿了口溫水。
熱氣升騰。
“關鍵是速度。”張紅旗放下茶杯,目光深沉。
“沒錯。”
唐國維指尖重重劃過圖紙中軸線:“兩座重達數百公斤的氣浮滑臺,要在巴掌大的真空間隙裡交替換位,末端加速度必須推到每秒兩米。”
“兩米每秒!”
“這種超高加速度急停急啟,內部瞬時衝擊力堪比重炮轟擊。”
“洋人在上海密電裡揚言,中國人做不出零點一微米的同步對準,死穴就卡在這道物理鬼門關上。”
趙鐵柱坐在側座擦拭著皮靴,聞言把手中軟布往公文包一塞,濃眉挑起一抹剽悍兇光。
“放屁!”
趙鐵柱咧開嘴冷哼:“當年咱們搞大口徑物鏡,蔡司那幫老外也嘲弄東方人磨不出高數值孔徑鏡片。”
“結果呢?”
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