三位院士。
顧明遠提到這個陣容的時候，陳知遠就知道，這次邀請絕不是讓他過去掛個名字。
此前的聯合專案規模已經不小，這次卻又高了一個層級。
邀請函只寫明參與身份和報到要求，具體內容並未透露。
兩天後。
一處聯合科研中心的會議室裡，顧明遠把他領到靠前的位置。
會議桌邊坐著十來個人，最年輕的看上去也有三十多歲。
幾個人正在低聲討論，投影幕布上停著一幅密密麻麻的曲線圖。
陳知遠剛坐下，一位頭髮花白的老人便抬起頭。
“陳知遠？”
“周院士，您好。”
老人笑了笑：“我看過你們那篇論文，瑞士那邊開會的時候，有人把你的報告發給我了。”
他叫周啟山，是這次專項整機系統方向的負責人之一。
“你之前做的是精密光學和測量，跟我們這裡有不少相通的地方。”
周啟山說著，示意旁邊的工作人員切換投影。
“不過，我得先讓你知道，我們究竟在做什麼。”
螢幕亮了起來，一行字出現在最上方。
【國產極紫外光刻裝備關鍵技術聯合攻關。】
下面還有一個數字：13.5n
陳知遠的目光微微一凝，“EUV光刻機？”
“對。”
周啟山沒有賣關子。
“準確地說，是圍繞國產EUV原型平臺開展整機攻關，光源、反射光學、工件臺、測量和控制，各家單位都有自己的任務，我們現在最頭疼的，是把這些東西真正擰成一臺能穩定工作的機器。”
會議室安靜了下來。
EUV光刻機不是有了光就能造晶片。
它要把極小的圖形一次次準確地投到指定位置，稍有偏差，就可能整片報廢。
眼下原型平臺已經完成基礎曝光驗證，卻遠沒達到穩定工作的程度。
“看這兩組結果。”
。幕螢向指山啟周
。見可晰清條線的齊整列排，上圖張一第
。同不顯明卻圖張二第
。移偏的積累漸逐了現出置位的形圖，後曝次多行進續連，件條試測的樣同
”。定穩不就作工續連，亮漂得做能果結次單“
：道口開員究研位一的統系制控責負
”。大放然突段階些某在會總差誤，時行執機整但，圍範許允在都標指，過測開分臺件工和統系學把們我“
”。個一哪決解先定確是的難最在現，據證有都邊兩，題問在存還償補態臺作工為認組制控，因主是變形的起引荷負熱疑懷組學“：充補家專位一另
。月個幾掉耗白白能可，定標複重、用佔置裝，錯選旦一向方
。話說著急有沒遠知陳
。錄記量測的面後到翻又，遍一了看回來圖張幾把他
。催有沒也山啟周
。方地的演表場現人輕年讓是不，論討技的式正次一是這
”？的齊對式方麼什按是，差誤些這“：問然忽遠知陳，刻片了過
。他向看人責負的組制控
”。過查排們我向方個這，過查檢也鐘時樣取，過一統間時置裝“
”。題問有間時說是不我“
。大放線曲條兩中其把遠知陳
”。態狀理的刻時一同是必未的表代，料資的刻時一同在錄記，是思意的我“
。頭了起抬人個幾
”。行執拍節制控和量測套一另按是卻償補的臺作工，程過應響有它，的完刻立是不變形，後以化變荷負熱到統系學“：道續繼遠知陳
”。釋解能都邊兩，看別分果如“
”？呢差誤次一下償補始開經已邊這臺作工，化變次一前應響在還態狀學是要但“
。些了直坐識意下員究研名一，面對桌議會
。線曲移偏的上幕螢著指遠知陳
”？起一了到疊下況工些某在償補套兩是而，標達不終始統系子個一某是不，能可有沒有“
。瞬一了靜安室議會，完說他
。較比間時一統按是還要主，析分合聯的去過是只。過究研沒是不們家專，題問合耦
。態狀理個一同應對必未，點間時個一同：事回一另是的說遠知陳而
。眉起皺人責負組制控
”。差誤部全了不釋解，遲延段一整調純單，過慮考們我後滯應響熱“
”。秒幾挪後往一統料資有所給是不思意的我，變會也應響，同不段階行執、同不荷負熱，夠不定肯遲延定固“，頭點遠知陳”。意同我“
。幕螢向指手他
”。起一到放移偏曝的後最及以，令指償補臺作工、化變量測際實、荷負熱史歷的統系學把先“
”。程過的效生正真們它齊對著試，間時齊對隻別“
”。來出找裡驗實的過做經已在能該應就，在存係關果如“
”？型模聯關態個一立建錄記史歷用先想是你“：問，直坐山啟周
”。對“
