只要進行曝光,那麼必然產生有機碎片。
如此一來,金屬小分子便必然會揮發,然後逆流,給光路鏡面,pellicle薄膜造成汙染。
這是傳統方法不可逆的缺陷!
但林決卻能大力出奇跡,直接窺探到一條全新路徑。
.........
“籠促配位團簇?”
眾人看著螢幕上那前所未聞的名詞,神情都是有發懵。
見狀,林決將PPT畫面切掉,關於創新思路的相關理論出現在眾人眼前。
“在我的新方案中,要用到的核心理論,來自於籠腔電子勢自捕理論,配位零解離穩定,庫侖場可控締合,無擴散局域反應......”
這些理論在高階功能材料,配位凝聚態領域,都是非常前沿的分支。
在座作為國內頂尖材料方面學者,對其基本都是有所涉獵。
不過在他們印象中。
像庫倫可控,局域無擴散這倆理論。
以往都是用於設計儲能,電響應軟物質的.......
眾人還是頭一次看到,有人將他們用到極紫外感光成像之中來!
..........
接下來的一個小時裡。
林決從框架上,大概跟眾人講述了下自己的思路。
不過,由於其中理論有理論頗具深度,也只有像袁澤成這般的頂級工程師,才能勉強跟上。
等到闡述完畢後。
林決目光掃了眼眾人,自信開口,
“.......嗯,這套理論大概就是如此,大家可以先討論討論......有什麼看法,等下也可以和我提。”
下方眾人先是沉默了一會兒,然後,便開始了激烈的討論。
“這套理論確實很讓人驚訝,但讓最後讓靜電作用於圖案,如果工況稍微波動,到時候圖形很可能全部漂移吧?
如此一來,品控照樣難以保證。”
“是啊,還有長期累積電子過載怎麼辦?籠結構可是非常容易崩解的!”
“我怎麼覺得這個想法非常驚豔啊!
而且在理論上來說,林教授的方法,基本可以做到完全根除光路汙染,打破RLS制衡!
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