谷方緒微微嘆氣，
“是的。”
“具體問題呢？”
林決轉頭看了谷方緒一眼，繼續問。
“目前核心短板是初期汙染控制，團簇均勻分散，RLS協同控制。”
林決點了點頭，找到相關的工程日誌看了看。
然後便發現。
很多試樣曝光時，錫揮發會產生嚴重超標。
這樣的情況出現後，會持續汙染上游多層反射鏡和Pellicle保護膜。
但如果將這種情況控制住，材料靈敏度和粗糙度又會同時變差。
屬於是一根筋兩頭堵的難點。
見狀，谷方緒繼續說道，
“除此之外，上游高產有機配體，底層反射層整套配套鏈條也不完善......
我們畢竟缺少真實EUV整機長期的工況驗證平臺，所以目前只能做短時間模擬曝光，難以驗證晶圓連續晶圓體連續加工穩定性......”
說話間，林決已經快速閱覽好幾個檔案。
“好的，具體情況我下來再看看。”
林決說著，將檔案拿起放在腋下，然後伸出手，
“謝了谷教授，希望我們能共同進步，將這個難關徹底突破！”
谷方緒看了看眼前這個少年還略顯稚嫩，但卻充滿了自信的臉龐，心中不禁泛起些許漣漪。
“那好！共同進步！”
說罷，兩人緊緊握手。
恍惚間，谷方緒好像產生一種，新老時代交替的錯覺。
“好了谷教授，我先回去了，你們忙吧。”
“好的。”
看著林決離去的背影，谷方緒在原地駐足良久。
說實話，谷方緒搞科研這麼多年以來，其實早就不怎麼吃壓力了。
但看著那個背影，他卻沒由來感覺，自己老專案組，很可能會被對方當減速帶碾壓過去的錯覺......
不過......
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