兩週後。
整機測試中心。
最後一輪連續執行的資料出來時，老梁盯著螢幕看了足足半分鐘，才把手裡的筆往桌上一放。
“過了。”
旁邊幾個研究員頓時鬆了口氣。
這半個月，他們換了好幾種工作節拍，又做了長時間負荷變化測試。
陳知遠提出的動態補償方案，沒能把所有誤差一掃而空，卻在事先劃定的工況內始終保持著明顯優於舊方案的表現。
沒有再出現先前那種補償越補越亂的情況。
老梁把報告往陳知遠面前一推。
“你看看，你那套東西，這回算是真正站住了。”
陳知遠翻了兩頁，“嗯，跟預計差不多。”
老梁差點氣笑，“你倒是挺淡定。”
“我又不是第一次看這組資料。”陳知遠笑道，“而且這才解決了一類動態漂移。”
“得得得，知道你眼光高。”
老梁嘴上抱怨，臉上的笑意卻怎麼都壓不住。
幾個月沒找到突破口的問題，如今終於有了一套能反覆驗證的處理辦法。
他比誰都清楚，這份報告有多值錢。
不過陳知遠說得也沒錯。
解決一種漂移，不等於整臺光刻機就能穩定幹活。
當前原型平臺可以完成基礎曝光，可要讓一片測試晶圓連續完成多輪對準曝光，各個系統必須在同一套工作條件下配合。
真正難的，是把它們合在一起。
而這，也正是今天這場聯合推進會要討論的事。
上午十點。
陳知遠推開會議室大門時，裡面已經坐了三十多人。
除了周啟山，還有另外兩位院士。
一位負責光源與相關工程系統，另一位長期負責整機工藝整合。
各家研究所、裝置單位的技術負責人也來了。
跟上次不同，今天誰都沒有再把陳知遠當成一個來旁聽的年輕學生。
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